随着光学技术的发展，对精密光学镀膜的要求越来越高，例如超快激光光学元件、特殊激光光学元件对镀膜都有非常高的要求。一般来讲，基片/基材的价格和质量取决于材料,形状，尺寸，公差和抛光质量。
材料
通常第一步就是决定基片的材料，基片材料最好对于所有波长的高透射率，几乎没有吸收。如果不是透射，则可以使用低成本材料，例如， Borofloat®（SCHOTT AG）用于金属镜面。其对于表面形状公差，低热膨胀都是有益的。、
形状
选择基片时必须考虑两侧的形状，平面，凸面，楔形和凹面的所有组合都是可能的。楔形（例如 30'）可以应用在每种表面（平面以及凸面或凹面）上。对于弯曲基板，半径符号有不同的约定。有时“+”表示凸，“ - ”表示凹。其他用户将“+”和“ - ”称为光传播。在这种情况下，“+”表示“与传播方向的曲率”，“ - ”表示“相对于传播方向的曲率”。为避免混淆，需要明确地表明凹或凸。
用户需要明确边长和直径，除非另有说明，否则厚度描述是指基板的最大厚度，即平凸基板的中心厚度和平凹基板的边缘厚度。 因此，一般在较厚的一侧测量楔形板。为了获得良好的形状公差，还应该注意直径和厚度的比例。公差除尺寸和材料外，公差对成本也是最重要的。当然，光学元件必须适合安装座，因此直径不应大于规定值。最常见的规格是-0.1mm。大多数情况下，厚度在两个方向上都是自由的。海纳光学通常指定它的公差为±0.1mm。关于楔形，并行性和居中的规范存在很多混淆。请注意，楔形和平行度描述了光学表面之间的角度，而居中则描述了光学表面和侧面之间的角度（见上图）。海纳光学标准基板具有优于 5arcmin 的平行度。特制的平行线可以具有低至 10 的平行度。标准楔形基板具有 0.5°或 1°的楔形。根据基板尺寸，可以实现更大的楔角。通常，与侧表面成 90°的角度具有 20'的精度。定心是一种额外的光学处理，可将此精度提高到几弧分arcmin。
表面形状公差
表面形状公差通常由干涉仪测量，并以λ为参考波长来表示。没有进一步的陈述，参考波长是λ= 546nm。为避免混淆，必须清楚地区分平整度，功率和不规则性。在下文中，将针对平面表示平坦度和不规则性。一般而言，每个真实表面或多或少都是弯曲的。真实表面的“峰”和“谷”被平行平面覆盖，这些平面之间的距离称为平坦度。这种平坦性包括两个贡献。第一个贡献是表面的球形弯曲，可以用“峰”和“谷”的两个最佳拟合球体来描述。相对于理想平面的该曲率的矢状表示为功率。这种球形弯曲不会影响反射光束的质量。它只会导致有限的焦距。第二个贡献是最佳拟合球体的偏差，表示为不规则性。这是评价光学元件质量最重要的值。ISO 10110 标准提供了指定表面形状公差的算法。与测量结果具有最佳可比性作为评价，所有值都以干涉条纹的数量给出。
涂层应力
通常薄的基材不能承受涂层应力。涂层会引起球形变形，这意味着发生了有限的表明弧高和功率微变化。在圆形基材的情况下，不规则性就不受该问题的影响。上述问题严重时，平坦度变差。然而，光束的质量不受影响。
