滤光片光学性能标准
到目前为止,我们已经讨论了直接测量滤光片的光学性质,但仍有一些很难测量的物体的自然性质,这与薄膜和基底的质量和加工有关。对于任何光学元件,都会对基片进行详细的描述,如表面形状、抛光程度、允许涂片、光洁度等,这里不应再考虑基片。mil-e13830a在美国得到了广泛的应用,为包括基板在内的光学元件提供了一套有效的标准。
可以通过存在诸如针孔、污点、溅射标记和未涂覆区域的缺陷来测量涂层的质量。针孔有两个主要原因。
首先,它们实际上有很小的未涂覆区域或一些未涂覆的区域,这将导致额外的光传输截止区,从而降低滤波器的整体性能。
其次,对于可见光波段的滤光片来讲,这些缺点会影响整体外观。事实上,它们使外表看起来比实际表现更糟糕。除了简单的外观判断外,还可以根据给定大小单位面积上的最大值来确定针孔的允许大小,即当滤波器的截止值减小到给定值时针孔的数量。
为了计算该值,必须假定在任何时间使用的滤波器的最小面积。很明显,面积越小,针孔数量越小。当然,在任何过滤器中,针孔的实际计算都要耗费大量的人力。在实际应用中,将滤光片与参考样品进行比较,可见滤光片的测量往往是可视化的。
一个简单的灯箱固定支架可以很容易地建造,并且可以在上面放置大量的过滤器,可以与参考样品进行比较,以确定它是否符合要求。对于不透明基片上的滤光片,更容易测量其实际截止性能。
一般来说,除非数量巨大,否则对光学性能的影响很小。一个重要的风险是物质碎片可能会掉下来,针孔也会出现。溅射过程有时会引起结瘤的生长并带来一些问题,或者如果存在大量溅射碎片,则散射损失可能增加。与控制针孔一样,这是可以控制的,但由于镜面反射光学性能几乎不受影响,除非溅射标记数量很大,否则确定允许值的方式往往是主观的。如果针孔是由溅射产生的,它们将被分开处理。
一般在指标中会说明:没有可见的溅射轨迹,但是这种描述是非常模糊的,尤其是当检查员没有光学经验时。当用户检查员使用镜头辅助肉眼观察时,用户和制造商之间会有差异。当它能够采用与测试销孔相同的精确方法时,最好将测试与双方商定的参考样品联系起来。